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MDA-80MS
易于操作和安装，PLC操作与PC控制，紧凑的尺寸半自动系统，图像抓取和数据记录，超过100个程序配方
类型电脑控制, 半自动
掩模版尺寸最大 9 英寸
基板尺寸碎片至 8 英寸
均匀的光束尺寸8.25 x 8.25 英寸
紫外光源紫外灯，1 kW
光束波长350 ~ 450 nm
光束均匀性<±5 %
365 nm 强度最大 20 mW/㎠
对齐方式手动
对准精度1微米
进程模式软，硬，真空接触和接近
流程解析1 um @ 1 um PR 厚度，带真空触点
重量（公斤）750公斤
尺寸（毫米）1400（宽）* 1100（深） * 1600（高）
售后服务
1年
是
有
1次免费培训
3月1次
免费维修免费更换部件
2小时响应
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