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设备特点：
l 适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管
l 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便
l 采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作
l 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸
设备参数
产品 | 二通道 | 三通道 | 四通道 |
工作温度 | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ |
压差范围 | 0.05-0.4MPa | 0.05-0.4MPa | 0.05-0.4MPa |
精度 | ±1% FS | ±1% FS | ±1% FS |
重复精度 | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS |
流量范围 | 50、100、200、500Sccm可供客户选择 | ||
流量计类型 | 进口质量流量器 | ||
接口尺寸 | Φ6.35mm双卡套接头 | ||
连接管道 | 采用洁净抛光的气路专用耐腐不锈钢管或耐腐蚀抗老化的聚四氟乙烯气管（可选） | ||
外形尺寸 | 700*700*645mm | ||
净重 | 约35KG | ||
7天
12月
安装调试现场免费培训
到货后7天内
24小时内
否
12天内
是
2天
12月
是
是
否
是
是
是
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技术参数；故障代码
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