Dektak XT
出众的测量精度、准确的测试功能、zui高的
接触式测量模式—业内一品牌
销量》10000台,销量》250台
大学、研究所》100台
太阳能客户销量》30台
LED客户销量》30台
技术参数:
拱形设计—系统更稳定
扫描长度:55mm
垂直测量范围:1mm(标准)
台阶高度重现性5Å, 1s 在1um台阶上
垂直分辨率:zui大1Å(6.55um范围)
探针压力:1-15mg
探针曲率半径:0.2-25um
超细探针50nm
样品台尺寸:150mm-200mm
可360°旋转,手动、自动可选
zui大样品厚度:50mm
主要特点:
1. 台阶高度测量的高重复性
2. 基于加工光学参考平面的样品台,
确保在长距离扫描中基线的稳定性
3. 出色的易用性、易维护性
4. 的样品适用性
5. 高分辨率的粗糙度测量
6. 功能强大的软件分析系统
7. 三维表面形貌测量的功能可升级性
8. 广泛的应用领域,客户涵盖大学、研究所、工业领域(太阳能、LED、触摸屏、半导体、镀膜等多领域)
1年
否
有
由工厂按需要安排人员培训
3个月一次
一年内免费维修设备和零配件
24小时到场或者电话指导
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