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产品简介：
ContourX-500光学轮廓仪是世界上全面的快速，非接触式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的自动倾斜光学测头，可以完全编程并自动测试一定角度范围内的表面特征，并能大程度地减少跟踪误差。满足计量要求，具有无与伦比Z轴分辨率和准确性。
借助其新的USI通用扫描模式，本产品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些场景涵盖了从精密加工表面和半导体工艺制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。
产品参数：
| ContourX-500 | |
| 最大扫描量程 | ≤10mm |
| 垂直分辨率 | ＜0.01nm |
| 水平分辨率 | 0.38 um/min（Sparrow 标准） |
0.13微米（使用AcuityXR） | |
| 台阶高度准确性 | ＜0.75% |
| 台阶高度重复性 | ＜0.1% 1 标准差重复精度 |
| 最大扫描速度 | 37 um's（带标准摄像头） |
| 样品反射率范围 | 0.05% to 100% |
| 最大样品倾角 | ＜40°（光滑表面） |
| ＜87°（粗糙表面） | |
| 样品高度 | ＜100mm（4英寸） |
| XY样品台 | 150 毫米（6 英寸）喷嘴平台 |
| Z轴聚焦 | 自动 |
| 倾斜功能 | ±6°，可在平台上使用 |
| 光学计量模块 | 获得专利的双色 LED 照明：单目标适配器 |
| 可选自动或手动转塔 | |
| 可选电动或手动离散模块 | |
| 物镜 | 准焦距：2.5X.5X,10X,20X,50X,115X |
| 长焦距：1X,1.5X,2X,5X,10X | |
| TTM： 2x,5x,10x,20x | |
| 亮场：2.5x, 5x, 10x, 50X | |
| 放大器 | 0.55,0.75X,1X 1.5X,2X |
| 摄像头 | 黑白（标准）或彩色（可选）；500 万像素，1200x1000 数据阵列 |
| 软件系统 | Windows 10 0S 上的 Vision64 和 VisionXpress 分析软件 |
| 64位 | |
| 可选软件包 | USl： 高级 PSl；生产模式；VisionMAP；AcuityXR；光学分析；SureVision；胶片；MatLab；SDK，TCP/IP 先进的自动拼接、散射和网格自动化 |
| 自动测量功能 | 先进的自动拼接、散射和网格自动化标准自动对焦；自动强度；自动保存；实时分析；以及录入数据库 |
| 校准 | 通过 NIST/PTB 可追踪台阶高度和横向标尺标准 |
| 设备尺寸（W*D*H） | 480*604*754 mm |
| 重量 | 70Kg |
产品特点：
高级自动化功能
专有自动倾斜测头为生产和监测提供了无与伦比的灵活性。通过将自动倾斜测头与光学装置耦合在显微镜上，实现了测试位置不受倾斜角度影响的测量。进一步结合自动样品台和物镜塔台，使得ContourX-500非常适合“按需测量”工业要求，且占用空间小。
传统的俯仰滚动工作台设计需要操作人员调整五个旋转轴，以将检测点保持在视线上进行测量。布鲁克独特的光学头倾斜/俯仰设计，不受倾斜影响，都能将视线保持在检测点上，从而优化图像采集，并大幅缩短数据获取时间。
先进的台式三维形貌计量设备
与放大倍率无关的业界好Z轴分辨率，高级自动化功能，包含带编码器的XY轴样品台、自动测头倾斜和自动亮度调整，更紧凑的气动减震台设计
分析微流体器件的底部通道，通过Vision64的多个区域直接提取
优质的测量与分析功能
易于使用的界面，可快速准确地获得结果
广泛的自动化功能，可量身定制测量和分析程序
广泛的滤镜和分析工具
满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告
1年
是
有
7. 免费培训至用户能完全独立操作，我方随机提供用户操作及维修手册1份，使用户能
3月1次
2. 产品整机免费保修期为壹年（耗材除外），负责终身维修。
在接到用户通知后立即响应。
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