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屹东YP-20等离子清洗机主要用于样品清洗或真空腔体的清洗。用途非常广泛,其可搭的配拓展设备包括但不限于:SEM、FIB、NanoProbe、TEM及其他各类真空腔体。
本产品等离子源为感应耦合等离子源( Inductively Coupled Plasma),通过产生的氧自由基来进行化学清洗,与电容耦合等离子源(capatitively coupled Plasma)产品相比,本产品具有五大优势:1、化学清洗方式为主;2、无电极污染 ;3、样品损伤小;4、清洗效率高;5、无需破坏样品室高真空。
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