仪器对比
关注
技术规格：
•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，600W
•腔体 ：石英.φ235mm，长260mm
适用于Wafer最大200mm（8英寸）小批生产及实验
•外观尺寸：长460mm，宽590mm，高550mm
•处理气体：2路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：抽屉式门+观察窗
•温控Wafer Chuck
•观察窗 ：UV与微波屏蔽保护
•GUI 7"触摸屏，Window CE操作系统
选项：
•进口干泵系统（含相关附件）
•法拉第笼
•石英舟
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装，运输
售后服务
200天
1年
安装调试现场免费培训
Alpha等离子去胶机Q235信息由南通宏腾微电子技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于Alpha等离子去胶机Q235报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
相关产品
