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技术规格：
•等离子源：2.45Ghz微波等离子源，600W
•腔体 ：铝.长250mm，宽250mm，深290mm，18L
•外观尺寸：长530mm，宽600mm，高550mm
•处理气体：1路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门：铰链门+观察窗
•观察窗 UV与微波屏蔽保护
•GUI 7"触摸屏，Window CE操作系统
选项：
•进口干泵系统（含相关附件）
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•旋转台-φ200mm，旋转速度可调
•ECR机构
•包装，运输
售后服务
200天
1年
安装调试现场免费培训
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