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便捷的样品测量（包含多样品扫描）
Park NX15 多样品扫描系统
一次可对多个样品自动成像
多样品卡盘，一次可装载9个单独样品（可选）
全电动XY样品台行程可达 150 mm x 150 mm
使用电动样品台，多样品扫描可实现多区域同步成像和扫描自动化。
以下是它的工作原理：
1.用户可自定义多个扫描位置
2.去开始扫描位置进行成像
3.抬针
4.将机动平台移动到下一个用户定义的坐标
5.下针
6.重复扫描
通过输入样品台坐标，利用两个参考点消除样品偏移，即可精准定位多个扫描位置。该自动化功能大大简化了繁琐的手动操作流程，提高了工作效率。
无扫描器弓形弯曲的平直正交XY轴扫描
Park的串扰消除技术不仅修正了扫描器弓形弯曲的缺点，还能在不同扫描位置、扫描速率和扫描尺寸条件下进行平直正交XY轴扫描。即使是平坦的样品也不会出现如光学平面、各种偏移扫描等背景曲率。因此Park能不惧艰难挑战，为您在研究中提供高精度的纳米测量。
无耦合关系的XY和Z扫描器
Park的优势在于匠心独运的扫描器架构。基于独立XY扫描器和Z扫描器设计的挠曲结构，能让您轻松获得的较高精度纳米级分辨率数据。
行业领跑的低噪声 Z 探测器
Park AFM 配备了该领域有效的低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,因而达到了样品形貌成像精准，没有边沿过冲无需校准的高效率。Park NX系列不仅为您提供高精准的数据，更为您大大节省了时间成本。
用低噪声 Z 探测器精准测量样品形貌
利用低噪声Z探测器信号进行形貌成像
Z探测器噪音水平低于0.02 nm
没有边沿过冲，无需额外校准
只需在工厂校准一次
样品：1.2 μm 标准台阶高度 (9 μm x 1 μm, 2048 pixels x 128 lines)
Non-Contact™ 模式可延长探针寿命、保护样品并精准测量
True Non-Contact™ 模式是Park原子力显微镜系统专有的扫描模式。该模式通过在扫描过程中防止针尖和样品损坏，产生高清的分辨率和准确的数据。
接触模式下，针尖在扫描过程中持续接触样品；轻敲模式下，针尖周期性地接触样品；而在非接触模式下针尖不会接触样品。因此，使用非接触模式具有几大优势。由于针尖锐度得以保持，所以在整个成像过程中会以高分辨率进行扫描。非接触模式下由于针尖不会直接接触样品表面，从而避免了损坏软样品。
更快速的Z轴伺服使得真正的非接触式原子力显微镜有更精准的反馈
减少针尖磨损 → 长时间高分辨率扫描
无损式探针- 样品接触 → 样品受损微小化
可满足各种条件下，对各种样品的非接触式扫描
此外，非接触模式可以感知探针与样品原子之间的作用力，甚至可以检测到探针接近样品时产生的横向力。因此，在非接触模式下使用探针可以有效避免撞到样品表面时突然出现的高层结构。而接触模式和轻敲模式只能进行探针底端检测，很容易受到这种撞击伤害。
具有扩展性的 AFM 解决方案
行业领跑——支持广泛的SPM 模式和选项
如今，研究人员需要在不同的测量条件和样品环境下表征广泛的物理特性。 Park Systems能为您提供广泛的 SPM 模式、多样的 AFM 选项以及业界领跑的选项兼容性和可升级性，支持多种样品表征。
参数
| 扫描器 | Z扫描器 | XY扫描器 |
柔性引导高推动力扫描器 扫描范围: 15 µm (可选30 µm） | 闭环控制的柔性引导XY扫描器 扫描范围: 100 µm × 100 µm | |
| 驱动台 | Z驱动台 | XY驱动台 |
Z位移台行程范围：25.5mm 选配的精密编码器可实现更好的工作台重复性 | XY位移台行程范围：150mm 选配的精密编码器可实现更好的XY工作台重复性 | |
| 样品架 | 样品尺寸 | |
| 最大 150 mm 晶圆样品 | ||
| 软件 | SmartScanTM | SmartAnalysisTM |
AFM系统控制和数据采集的专用软件 智能模式的快速设置和简易成像 手动模式的高级使用和更精密的扫描控制 | AFM数据分析软件 独立设计—可以安装和分析AFM以外的数据 能够生成采集数据的3D绘制 |
1年
是
有
7. 免费培训至用户能完全独立操作，我方随机提供用户操作及维修手册1份，使用户能
3月1次
2. 产品整机免费保修期为壹年（耗材除外），负责终身维修。
在接到用户通知后立即响应。
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