5-7年
1年
进口
蔡司
LEO-1540
7
600000
【技术参数】
分辨率:2nm @ 15kV
3nm @ 1kV
放大倍数:范围: 12~2,000,000×
加速电压:调整范围:20 V~30 kV
探针电流:5 pA~20 nA(12pA—100nA可选)
样品室:330(φ) x 270mm(h)
样品台:5轴优中心全自动 X=130 mm
Y=130 mm Z=50 mm
T=-3°- 70°
R=360 °连续
系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
6个月
是
无
安装仪器当天给予培训
无
六个月内非人为及事故或自然灾害导致损坏的免费保修
72小时
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