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压电·三维扫描运动 SH30.xyz.C
➡ 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动"需求的定制解决方案
• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um；
• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；
• 闭环分辨率优于 0.3 nm；
• 最大负载10 kg；
• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级；
压电多维度扫描台，高负载，兼容高真空——详细参数：
压电多维度扫描台，高负载，兼容高真空——尺寸图：
多场科技“压电扫描台·紧凑型"解决方案主要包含：
S —— 扫描标准系列；
SD —— 高动态系列；
SH —— 高负载系列。
S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。
售后服务
365天
1年
安装调试现场免费培训
多场科技压电陶瓷扫描台位移台·三维扫描运动 SH30.xyz.C信息由多场低温科技(北京)有限公司为您提供，如您想了解更多关于多场科技压电陶瓷扫描台位移台·三维扫描运动 SH30.xyz.C报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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