MultiFields光学高速扫描台，位移台，压电载物台 SD15/30.X.C
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压电·高速单轴扫描运动 – SD15/30.x.C
➡ 高速扫描运动，电容闭环传感，超高运动分辨率
• X 方向运动范围 15 um, 30 um；
• 外形尺寸, 62 mm x 40 mm x 13.5 mm, 80 mm x 40 mm x 13.5 mm；
• 闭环定位精度优于 0.1 nm；
• 电容位置传感器；
• 高速运动响应；
• 支持高真空 (.HV) ，超高真空 (.UHV) 选件升级；
压电扫描台，高速扫描运动，兼容高真空——详细参数：
压电扫描台，高速扫描运动，兼容高真空——尺寸图：
SD15.x.C
SD30.x.C
多场科技“压电扫描台·紧凑型”解决方案主要包含：
S —— 扫描标准系列；
SD —— 高动态系列；
SH —— 高负载系列。
S, SD & SH 系列覆盖X轴单维度运动、Z轴单维度运动、XY轴双维度运动和XYZ轴三维度运动等应用场景，支持电容闭环传感，可选无磁/高真空/超高真空选件升级。
售后服务
365天
1年
安装调试现场免费培训
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