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TC-Wafer校准仪，是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器，适配市场上如德国UNITEMP、韩国ULTECH、法国ANNEALSYS、日本ADVANCE等大多数主流厂家生产的RTP设备。
特殊情况可定制以适配。
产品特点(部分)
测温准确 温度偏差在+1.1℃以内、采集周期为200ms,能准确测量晶圆温厂均匀性
使用便捷 仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数据，并能自动生成测试报告支持U盘、蓝牙、无线网 络等多种方式导出数据和报告;
显示直观 最多支持20路实时测量(20路以上可定制),显示实时点位图及温度分布图可在使用过程中实时 观察各点温度变化;
功能强大 10000条历史数据存储量，能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比;便携易维护 便携一体化设计，配备磁吸支架可贴靠于RTP表面，Type-C接口65W速充，可迅速更换TC- wafer。
应用功能
半导体制造工艺调校
RTP设备的测试、验证
相关晶圆热处理设备的测试、验证，如CVD，PVD，照相，等等;
TC-Wafer的测试、验证
技术参数(部分)
1年
否
无
1次线上培训
无
因产品质量问题免费保修（各种消耗品除外），仪器提供全面维护，使之处于正常工作状态
产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应（除节假日外），以最快的速度派遣
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