BENEQ原子层沉积系统ALD TFS 500
BENEQ ALD系统是专为生产MEMS设备(例如打印头,传感器和麦克风)以及各种3D物品(例如机械零件,玻璃或金属薄板,硬币,手表零件和珠宝,镜片,光学器件以及医疗设备和植入物。
BENEQ ALD系统已成为大批量ALD制造中的新标准。通过将我们的专利热墙设计与完全分开的入口集成在yi起,我们可以生产出具有优异产量,低颗粒水平以及卓越的电学和光学性能的zui高质量的ALD膜。灵活的设计以及易于快速的维护,确保了系统停机时间zui少,市场拥有成本zui低。我们专有的Picoflow™扩散增强剂技术可通过经过生产验证的工艺,在超高深宽比的基材上实现高度保形的涂层。
BENEQ ALD系统是专门为MEMS和3维零件生产中的批处理而设计的,例如机械零件,硬币,钟表零件和珠宝,镜片,光学元件和医疗设备,外科植入物和植入物的涂层设备(PicoMEDICAL™解决方案)。该系统速度快,可靠性高且易于维护。
200天
1年
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