落地式/传统大型
热场发射
国产
≤0.7nm(15kV),≤1.2nm(1kV),1.5nm(500V)
2~2,000,000倍
≥50V - 30kV(落点电压)
样品室:宽度≥340mm,深度≥315mm
≥18个
样品台:5轴优中心马达驱动样品台; 样品台移动范围:X≥130mm,Y≥130mm,Z≥95mm; 样品台T(双向倾斜):≥-80°~+80°; 样品台R(旋转):360°(连续旋转)
样品室内E-T型二次电子探测器; 样品室内电动可伸缩背散射电子探测器; 镜筒内配备具有能量角度选择多功能探测器; 镜筒内配备正光轴向探测器; 样品室内配有红外CCD摄像头; 可选低真空气体二次电子探测器(水蒸气下使用)
180天
3年
安装调试现场免费培训;额外提供免费培训
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