制备多晶硅太阳电池的氮化硅涂层沉积设备

报价 ¥5万 - 10万

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品牌

MVSystems

型号

SiNx－PECVD

产地

美洲美国

应用领域

暂无

瞬渺科技（香港）有限公司

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金牌会员
第16年
一般经销商

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产品详情

用于制备多晶硅太阳电池的氮化硅涂层沉积设备 MVS

Silicon Nitride Coating Systems for Multi-crystalline Silicon Solar Cells

Throughput: >475 wafers/hr

SiNx uniformity: < ?5%

产率：>475硅片/小时。

氮化硅膜不均匀性：< 5%。

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