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Load-lock式溅射设备CS-200
Load-lock式溅射设备CS-200，是可对应从研究开发到小规模量产的溅射设备。
产品特性 / Product characteristics
• 活用过往的工艺及数据的know-how，创新的的便利设计
•在Load-lock室内搭载cassette机构（可选）提升生产能力•基板搬送尺寸大为. φ300mm（膜厚均一性保证部分为中心φ200mm部份）•可对应多个cathode多层成膜/共溅射•可由touch panel操作开始自动制程、输入recipe实现省力化运作•可对应Data-logging产品应用 / Product application
- •成电膜，多层电同时成膜•电介质膜成膜，绝缘膜，钝化，保护膜等•电子部件向研究开发，及小规模生产
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
Load-lock式溅射设备信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于Load-lock式溅射设备报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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