1.双电测四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下:
直线四探针测试布局如图8,相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理:
当电流通过1、4探针,2、3探针测试电压时计算如下:
四探针测试结构
当电流通过1、2探针,4、3探针测试电压时计算如下:从以上计算公式可以看出:方阻RS只取决于R1和R2,与探针间距无关.针距相等与否对RS的结果无任何影响,本公司所生产之探针头全部采用等距,偏差微小,对测试结果更加精准。
本仪器本仪器采用四探针双电测量方法,适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示,无需人工计算,并带有温度补偿功能,电阻率单位自动选择,仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程,无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制,恒流输出,结构合理、质量轻便,运输安全、使用方便;选配:配备软件可
(1)量程: 20.00mV~2000mV
(2)误差:±0.1%读数±2 字
数控恒流源
(1)量程:0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA,1A
(2)误差:±0.1%读数±2 字
所给出的某一合适值,测量并记录所得数据,所有测试数据至少应取三位有效数字。改变电流方向,测量、记录数据。关断电流,抢起探针装置,对仲裁测量,探针间距为1.59
15天
1年
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