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高质量全自动扫描电镜样品制样工具
◼ 离子束平台应用于扫描电镜样品制备
➢ 快速的剖面切削
➢ 表面细抛
◼ SEMPrep2 系列：
➢ 100ev 到16kev 高低能量离子枪可选择
➢ 全球独家16kev超高能量离子枪做超快速切削应用
➢ 数码式参数设定和自动操作
➢ 通过Peltier制冷或液氮制冷保护样本受超负荷过热的影响
➢ 可选择多种样品台适合各种大小的样品
SEMPrep2标准版
1. ☆加速电压：离子枪加速电压从2-16 keV连续可调。
2. 离子束直径：300~600 um (FWHM)连续可调。
3. 最大离子束电流密度：100mA/cm2。
4. 电流大小：离子束电流150 uA。
5. ☆最大抛削速度：对于c-Si标准样品在16keV, 30°入射角时具备有580um/h 的样品减薄能力。
6. ☆平面样品搭载尺寸：至少可容纳33.5 x 9 mm样品。
7. ☆截面样品搭载尺寸：使用90度专用截面切削样品载台，至少可容纳20 x 16 x 7 mm ( L x W x Thickness)样品。
8. 样品倾斜角度：0°至30°，每0.1°连续可调。
9. 样品旋转角度调节：360˚ 可变速样品旋转，角度速度连续可调。
10. ☆样品加工摆角（振荡）：±10°至±120°，每5°连续可调。
11. ☆操作系统：内置工业级PC并搭载预装Windows操作系統，操作方便简洁。
12. 工作模式：智能式计算器控制并可根据客户需求切换不同用户模式：手动操作模式， 半自动操作模式以及 全自动智能操作模式,
并可储存操作参数用于之后调出使用。
13. 真空抽气装置：移动式涡轮分子泵和无油多级隔膜泵，以达到无油式真空抽气系统避免样品遭油气污染。
14. 真空测试：潘宁规。
15. 光学放大：可配备分离式或整合式的观测样品光学显微镜，放大倍率需50~300倍或更高。
30天
1年
安装调试现场免费培训；额外提供免费培训
到货后48天内
48小时内
是
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