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掩模测量
天准为掩模生产过程中的测量提供高精度、高重复性系统，适用产品包括但不限于COG和PSM。
针对掩模来料测量，天准提供长距离工作物镜。测量包括掩模版上CD的分布，同时系统提供可见光和紫外光照明，均可用于反射和透射模式。紫外光照明可用于测量最小300nm的特征尺寸，3sigma重复性通常在纳米范围内。
Spector主要特点
①Mask CD测量
②最大支持14寸掩模以及定制形状
③可配置可见光、紫外光，支持穿透和反射光
④SECS/GEM
⑤长期维护成本低，稳定可靠
售后服务
30天
1年
安装调试现场免费培训
掩模测量信息由苏州天准科技股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于掩模测量报价、型号、参数等信息，天准科技客服电话：400-801-3195，欢迎来电或留言咨询。
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