1. 产品概述:
ET4000A 是小坂研究所推出的一款多功能、全自动的微细形状测量机,在平板显示器(FPD)、晶圆、硬盘等纳米尺度的测量领域应用广泛。
2. 设备应用:
o 半导体行业:用于晶圆表面的形貌、台阶高度、粗糙度等参数的精确测量,对半导体芯片的制造工艺控制和质量检测至关重要,比如测量晶圆表面的薄膜厚度、刻蚀深度等。
o 平板显示领域:可检测 FPD 基板的表面平整度、段差、微观结构等,保障平板显示器的显示质量和性能,像液晶面板、OLED 面板等的相关测量。
o 硬盘制造:能够测量硬盘盘片的表面粗糙度、磁头飞行高度等关键参数,对于提高硬盘的存储密度和读写性能有重要意义。
o 精密加工行业:适用于各种精密机械零部件的表面形状、尺寸精度测量,有助于提升产品的加工精度和质量控制水平,例如精密模具、微型机械零件等的测量。
o 科研领域:为材料科学、纳米技术等科研项目提供高精度的微观形状测量数据,支持相关领域的研究和创新,如纳米材料的表面特性研究、微机电系统(MEMS)器件的形貌分析等。
ET4000A:多功能全自动微形状测量机
特点:这款测量机具备多功能性,能够满足各种复杂的测量需求。
应用:非常适合需要高精度、多功能测量的应用场景,如科研、精密制造等。
ET4000L:可处理大尺寸的全自动微形状测量机
特点:这款测量机特别设计用于处理大尺寸样品,具有的稳定性和精度。
应用:非常适合需要测量大尺寸基板、晶圆等的应用场景,如平板显示器制造、半导体行业等。
ET4000M:合理、高性能、通用的微形状测量机
特点:这款测量机具有合理的价格、高性能和通用性,能够满足大多数测量需求。
应用:非常适合需要高精度测量但预算有限的应用场景,如质量控制、产品研发等。
ET4000系列全自动微形状测量机提供了多种型号选择,以满足不同应用场景和预算需求。无论您需要测量小尺寸还是大尺寸样品,高精度还是多功能性,ET4000系列都能提供合适的解决方案。
3. 设备特点:
o 高精度测量:具备出色的台阶再现性与线性度,保证测量结果的准确性和可靠性,例如在测量微小台阶高度时能精确到纳米级别。
o 超高真直度:确保量测图形不受干扰,可在真直度保证下进行长距离测量,有利于对大型工件或具有长行程特征的样品进行精确测量。
o 先进的检出器:采用超低噪音直动式 LVDT,超低测定力的触针可任意调节,既能满足不同测量需求,又能避免对被测物体表面造成损伤。
o 高分辨率定位:配备高分辨率的 CCD,可即时进行高精度定位测量,有助于快速准确地找到测量位置,提高测量效率。
o 多功能性:可对应各种国际规范,测定参数多达 60 多种,满足不同行业和应用场景对测量参数的多样化需求。
o 广泛的适用性:适用于各种与纳米材料有关的 MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜 / 化学涂层以及平板显示等领域,具有很强的通用性。
4. 产品参数(以P5551A为例):
o 测定工件:
o 最大工件尺寸:210×210mm 至 300×400mm。
o 最大工件厚度:50mm。
o 最大工件重量:2kg。
o 检出器(pickup):
o z 方向测定范围:max.100μm。
o z 方向分解能:0.1nm。
o 测定力:0.5μN 至 500μN。
o 触针半径:0.5μm、2μm。
o 驱动方式:直动式。
o x 轴(基准轴):
o 移动量(最大测长):100mm。
o 移动的真直度:0.005μm/5mm。
o 测定速度:0.005~2mm/s。
o 位置定位时速度:max.10mm/s。
o 线性尺(linear scale)分解能:0.01μm。
o 位置定位再现性:±5μm。
o 滑轨材质:在铸铁(CD - 5)上镀上硬质 Cr,无润滑(于移动台侧,使用铁弗龙折动材料)。
o 驱动:DC motor + dynamic belt。
o y 轴(位置决定用):
o 移动量:52mm。
o 移动速度:max.3mm/s。
o 滑轨:cross roller 滑轨。
o 驱动:DC motor + 滚珠螺杆(p = 2mm)。
o 检出器自动停止机能。
o 工件台:
o 工件台尺寸:210mm×210mm。
o 自动倾斜量:x 为 ±1mm/150mm,y 为 ±1mm/186mm。
o 分解能:0.25μm。
o 驱动:pulse motor。
o 其他:
o 全自动量测功能。
o 工件观察:max.80 倍(可选购其它高倍率 CCD)。
o 床台材质为花岗岩石。
o 段差测定再现性:1δ,5a° 以内。
o 防振台(选购):落地型或桌上型。
o 电源:AC100V±10%,50/60Hz,800VA。
o 本体外观尺寸:W660×D580×H660mm(不含防震台)。
60天
1年
安装调试现场免费培训
相关产品