Korvus Technology 的 PVD 集群系统提供了一种解决方案，使薄膜沉积过程更加灵活、经济高效。
我们的 HEX PVD 系统具有独一无二的多功能性。高度模块化的设计优先考虑了使用薄膜沉积的制造商和研究人员的定制和灵活性。
物理气相沉积(PVD) 将材料转化为气体并将其引导至基材，从而在基材上形成一层薄薄的材料。
PVD 集群系统将 PVD 室连接在一起，以实现现有 PVD 系统的额外优势。
轻松同时或连续快速处理多个基材。
使用 HEX Cluster，您无需担心 PVD 阶段之间的大气暴露。这样可以保持材料的纯度。HEX Cluster 的可定制属性还可以轻松切换沉积源、移除面板并根据需要集成第三方仪器。
借助 HEX Cluster 增强的用户控制，您可以降低污染风险。PVD 群集工具为不同类别创建多层，以避免金属和聚合物等材料之间的交叉污染。
PVD 是一种复杂且通常成本高昂的工艺。HEX 系列的设计和模块化可节省空间、金钱和时间。HEX Cluster 允许根据需要添加 HEX-L 腔室以创建集群系统，这意味着您可以根据研究需求的变化添加腔室。此外，机器人传送臂由 Korvus 设计和制造，使其成为一种极具成本效益的选择。
HEX PVD 集群系统可持续高效地生产薄膜。借助 HEX PVD 集群系统，您可以：
开发不同类别材料的多层
将薄膜沉积过程的各个阶段分离到不同的腔室中
通过增加沉积室、源和工具来扩大 PVD 产能
为您的研究提供未来保障
由于 HEX-L 系统高度模块化，因此您可以从基本型号开始，然后根据需要进行升级。使用此方法可消除不必要的停机时间和安装成本。我们的系统适用于各种研究和制造目的。
可容纳最多五个溅射源或蒸发源
可容纳最大 150 毫米的样本，或多个较小的样本
腔体容积为 50 L
其铝制框架有六个侧面，重量轻，因此用户友好。开放式设计使装卸材料或清洁变得更容易，因为您可以轻松取用。
HEX 集群系统采用了 HEX 系列其他产品广受欢迎的方面并加以改进。设计中的薄金属框架使其尽可能地通用。您可以根据研究需要切换沉积源并移除面板。
HEX-L 系统可以创建不同厚度的薄膜应用，从单原子层到多层材料。该系统还适用于各种涂层材料，包括：
有机化合物
纯金属
金属合金
有了 HEX PVD 集群系统，您还可以拥有 Korvus 内部设计和制造的机器人传输装置，而无需支付第三方传输装置的费用。这可以为您节省金钱和时间，从而提高 PVD 生产力。这也意味着 Korvus 拥有整个系统的专业知识。
所有这些因素结合起来，使薄膜沉积研究人员能够更自由地使用集群系统。各种预算的研究人员都可以使用该系统。
PVD 集群系统对于各种材料的开发起到重要作用。
制造商将它们用于 LED 显示屏和消费电子设备等光电产品。具体来说，它们对于半导体制造至关重要，而半导体制造是较为复杂的制造工艺之一。PVD 集群系统简化了这一过程，以满足日益增长的需求。
PVD 集群系统还可以为患者植入物制造生物相容性涂层，或为医疗工具添加耐用涂层。此外，它们在制造精密光学器件（如防反射或高反射涂层）方面也发挥着重要作用。
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