技术规格:
•等离子源:2.45Ghz微波等离子源,600W
•腔体 :石英.φ235mm,长260mm
适用于Wafer最大200mm(8英寸)小批生产及实验
•外观尺寸:长460mm,宽590mm,高550mm
•处理气体:2路气体+数字MKS流量控制器
•真空腔门:抽屉式门+观察窗
•温控Wafer Chuck
•观察窗 :UV与微波屏蔽保护
•GUI 7"触摸屏,Window CE操作系统
选项:
•进口干泵系统(含相关附件)
•法拉第笼
•石英舟
•信号灯塔-红黄绿三色
•额外的处理气体线路-最多至4路气体
•包装,运输
200天
1年
安装调试现场免费培训
相关产品