仪器简介:
AO 600是德国MBE-Komponenten公司专为半导体材料研究而开发的小型快速退火系统。
该系统避免了传统退火炉升降温速率慢、体积大、价格高等缺点,使用灵活,具有极高的性价比。
主要特点:
1、设计紧凑。整个设备体积小,放在桌面上即可,节省了您的实验室空间。
2、室温~600℃,温度范围完全可以满足半导体材料热处理工艺要求。
3、极高的升降温速率。使您可以自由地进行工艺设计,弥补了大型退火炉的不足
4、全自动控制,操作方便。工艺参数可存储在控制器内,方便您随时调用,并保 证了工艺的重复性。
5、提供用于电学测试的电极,可以对样品进行原位测量。
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