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ZYHD－1A/B型冷等离子体表面改性处理仪
一、仪器介绍
ZYHD-1A/B型冷等离子体材料改性设备为垂直式的冷等离子体处理仪，它是利用放电技术使气体电离产生等离子体，等离子体中含有大量的电子、离子、激发态原子和分子以及自由基等活性粒子，这些活性粒子在材料（金属、半导体、高分子材料）表面引起刻蚀、氧化、还原、裂解、交联和聚合等物理、化学反应,从而在不损伤基体的前提下，对材料表面进行改性，赋予材料表面新的性能：如吸水性（或疏水性）、可染性、粘接性、耐磨性、抗静电性及生物相容性等等。这种技术尤其适用于对天然高分子材料（棉、毛、丝、麻）和合成高分子材料（化纤、塑料、合成橡胶等）的表面改性处理，使其表面性能获得优化，因而在材料、化工、电子、印刷、纺织、制笔、医疗、生物技术等领域有广泛的应用。
二、仪器的构成
ZYHD-1A/B型冷等离子体改性设备的主要配置为:
1. 真空反应室。
2. 真空系统及真空测量设备。
3. 充气系统及气体流量测量设备。
4. 放电系统和射频电源。
5. 设备电路控制系统。
三、仪器的规格及技术参数
1、仪器的主要规格
体积: ZYHD-1A:长×宽×高为:560mm×460mm×780mm（反应室）、540mm×520mm×1600mm（射频控制器）。
ZYHD-1B:530mm×560mm×1600mm(电源柜)
重量: HD-1A:250kg（包括旋片泵）。
反 应 室: 耐高温硬质玻璃圆筒: ZYHD-1A:直径: D230mm, 高度: 250mm。
ZYHD-1B:直径:D300mm, 高度: 300mm 。
内 电 极: ZYHD-1A:90mm × 90mm。
真空系统: ZYHD-1A:2X－4型直联旋片真空泵二台。
ZYHD-1B:2X－8型直联旋片真空泵二台。
真空测量: 热偶真空计(ZDO－2型)。
气体入口: ZYHD-1A:双通道转子流量计两个，量程分别为:
0.3－3 ML/min 和 0.6－6 ML/min
ZYHD-1B:双通道转子流量计两个，量程分别为:
30—300ML/min和40—400ML/min
计 时: 数字计时器。
RF射频电源: SY型, 13.56MHz, 0－500W。
2、主要技术参数
真 空 度：≤5Pa。
射频电源：13.56MHz, 0－500W。
工作真空度：15-80Pa。
四、仪器操作方法
1. 预先将外电极或内电极与射频电源电缆相连。
2. 用高压橡胶管把气体瓶出口与设备气体入口连接起来。
3. 夹紧橡胶管口夹圈。
4. 打开工作气体瓶口减压阀。
5. 打开灯丝开关橙色按钮，里面的指示灯亮，同时板压开关红色按钮里的指示灯也应该亮，预热5～10分钟。
6. 将实验样品放入反应室后, 关闭反应室盖板和全部真空阀门。
7. 启动真空泵绿色按钮（按钮上方标‘ON’）。
8. 按下热耦真空计开关, 测量真空度。同时观察真空计指针，真空度抽至所需值时，慢慢旋开转子流量计上的调节阀, 调节工作气体（氩气、氧气、氮气等）进气量，并注意观察真空计。
9. 当真空计上显示气压稳定至实验所需数值时。
10. 按下板压开关绿色按钮，里面的指示灯亮，缓缓调节Ua功率调节按扭，观察功率计，把功率调至真空室气体起辉，然后反复调节匹配电容C1和C2，直至反射功率最小（切忌反射功率太大，否则易坏元器件）。
注：为防止功率计表头损坏，实验开始时必须使功率计量程 位于2000档，然后再根据实验实际工作量程换档。
11. 按下计时器开关绿色按钮，计时器开始计时。（实验前，必须预先设定好工作时间）
12. 工作时间到，计时器报警。
13. 逆时针调节板压电位器旋钮Ua到最低位置。按下板压开关红色按钮切断板压电源，再按下橙色灯丝按钮。（如果连续工作不必关闭橙色灯丝按钮）
14. 关闭真空。
15. 打开放气阀门，缓慢放气，当反应室内处于大气压后，再打开反应室盖板， 取出实验样品。
五、注意事项
1. 气氛置换时必须对腔体充气5～10分钟,清除置换前的残留气体。
2. 减压阀压力限定4Kg以下。
3. 处理后的工件不可用手触摸。
4. 射频源的操作和气源供给的操作必须由二人同时完成，不可一人单独操 作。
5. 设备不工作时，真空室必须保持真空状态。（每隔一周抽真空到本底）
6. 设备放置场所必须保持清洁，不可扫出浮尘。
7. 真空室内不可放置金属工件。（除电极外）
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