关于微派克
成立于1995年的德国微派克(Mikropack GmbH)公司,是欧洲领先的仪器以及设备的生产商和供应商。产品主要是用于生物科技,光谱,通信和薄膜应用等方面的光纤和电子机械元件。光纤光谱产品线包括光源,光测量和校准系统。微排克同时还致力于生产用于薄膜测量的产品,如NanoCalc-2000(光谱反射测量仪),SpecEl-2000(光谱椭偏仪)和PlacCala-2000与ProCess-2000(等离子监测,过程控制系统) 。微派克是英国豪迈国际有限公司的子公司。
SpecEL-2000-VIS from微派克 (Mikropack) 是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪,主要应用于薄膜测量。它具有经济实用、小巧、便利和拥有便捷的样品支架以及一键化操作等特点。SpecEL-2000-VIS适用于测量平整和半透明的样品,例如晶圆和玻璃片。
光谱椭偏仪测量光的相位和振幅的相对变化而不是传统的绝对光强(反射测量法)。因此这项技术不同于参考测量法,可以同时得到多重参数。高速测量保证系统可以在5-15秒内得到样品厚度,同时也可得到反射系数(n)和吸收率(k)与波长(450-900nm)之间的函数。
SpecEL-2000仅有标准椭偏仪价格的一半,却包括了一个集成的宽光谱光源,导光器件,起偏器,样品台,检偏器,增强光学元件和微型线阵列CCD光谱仪。整个系统的外形尺寸仅有52×33×24cm,入射光的角度固定在70度。
对于不同的层状和衬底样品,SpecEL可以测量的层厚在0.1nm到8um之间,精度达到1nm。随系统还有一套以32位的Windows平台操作软件,它具有强大的功能并能提供各种模型,例如Cauchy,OJL,Tauc-Lorentz,Drude,EMA和不同的振荡器。这套软件同时存储了特定的测试模式,减少了烦琐的反复测量和重复工作。
可以选择高分辨率的组件,将照射到样品上的光斑尺寸从2×4mm缩小到200×400um。还有其他可以选择的组件,例如2维绘图附件,参照晶圆和各种按需定制的解决方案。
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