从SEM观察到EDX分析都可轻松操作的SEM-EDX一体化系统。从样品表面观察到元素分析,在一个监视器上简便地操作。
●SEM部:二次电子图像分辩率 3.5nm
倍率 ×20~300,00
●EDX部:分辩率 14eV
可检测元素 C~U
· 紧凑简洁的新一代SEM-EDX一体化设计。
· 岛津独有的SEM-EDX联合系统,可在同一监视器上流畅地进行从观察到分析的操作。
· 岛津提供全套系统,售后服务完备。
· 数据管理采用超级文件形式,树状结构表示各种数据,从分析条件到测定数据,易于察看。
EDX丰富多彩的元素数据解析功能
· 彩色成图
通过彩色成图可一目了然地显示各元素的分布。
样品:有色冶炼炉渣 加速电压15.0kV 倍率500倍
· 颗粒解析
X射线图像也可通过颗粒解析软件进行平均半径、面积等的解析处理。
样品:有色冶炼炉渣 S-Kα元素像 加速电压15.0kV 倍率500倍
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