CS200（A）数字式气体质量流量控制器
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仪器简介：
CS200A:
数字式气体质量流量计/流量控制器，高精度，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm
橡胶密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet
主要特点：
1.数字化，橡胶密封
2.高精度，快响应
3.极低零漂及温漂
4.良好的兼容性
技术参数：
产品型号 | CS200-A型 |
产品类型 | 高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm |
产品精度 | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5% F.S. |
响应时间 | ≤1sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton |
输入输出信号 | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus |
电源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
阀类型 | 常开(流量量程≤30slm)或常闭 |
温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S/℃； 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM |
零点飘移指标 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
电气连接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作压差范围 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.） |
漏率 | 1×10-10 Pa?m3 / sec He |
标准接头形式 | 双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4” |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | 25μinch |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1Kg |
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