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仪器简介：
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
主要特点：
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7A型的更新换代型
★管状分流，使用寿命长
技术参数：
产品型号 | D07-7B |
产品类型 | 普通型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
产品精度 | ±1.5％F.S. |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±1％F.S. |
响应时间 | 电特性: 10sec; 气特性:≤4sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) |
电源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA |
阀类型 | 常闭 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Female |
工作压差范围 | (0.1～0.5) MPa |
漏率 | 1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He） |
标准接头形式 | 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
重量 | 1.1Kg |
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