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国产等离子清洗器
13.56MHZ
0-300W可调
10L
76*55*82cm
不锈钢
2路
自动
微波等离子体
欠填充等离子体
半导体硅片等离子处理
仪器介绍
真空等离子清洗机是一种使用等离子体技术进行表面清洗和除污的专用设备。它利用气体放电产生的等离子体来处理工件表面，去除附着物、油污和有机物等。
工作原理
在真空环境中产生等离子体，通常使用氩气等惰性气体作为工作气体。当气体通入真空室并产生电弧放电时，放电释放的电子与气体分子碰撞，形成等离子体。等离子体中的离子和电子具有剧烈的化学活性，能够有效分解并去除工件表面的有机污染物。
应用领域
等离子清洗机在科学研究各方面已经取得了广泛的运用，涉及材料学、光学、电子学、医药学、环境学、生物学等不同领域，
主要用于以下实验：
◆表面清洁
◆表面活化
◆去除表面有机物
◆键合
◆疏水实验
◆去 胶
◆器械的消毒
◆金属还原
◆简单刻蚀
◆镀膜前处理
功能特点
● 不锈钢腔体，具有良好的耐用性
● 电极板上下可调，适应各种大小的样品
● 触摸按键，液晶显示屏+双浮子流量计精准控制，经济实用
● 结构稳定，密封性好
● 一键启停，人性化设计，简单易学
● 采用13.56MH射频电压，完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能
● 无材料二次污染和环境污染，效率大大提高
技术参数
腔体材质 | 316不锈钢 |
容积 | 10L |
电极板 | 平板水浴电极 |
电极 | 专用铝电极，上下可调结构设计 |
单次处理时间 | 工艺不同，处理时间不同,表面活化改性5-10分钟内 |
工作真空度 | 20-60Pa |
真空泵极限压力 | 0.5Pa（空载测试） |
抽真空时间 | ≤40秒（空载测试） |
破真空时间 | ≤20秒 |
等离子发生器 | 采用13.56MHz射频电源，功率0-300W可调，射频电源和阻抗器模块化设计 |
供气方式 | 电磁阀式 |
| 流量计控制 | 两路MFC质量流量控制 |
| 流量计调节范围 | 0.3-3L/min |
| 流量计精度 | 1% |
操作方式 | 人工取放工件，一键启动自动控制 |
额定功率 | 1kw |
机台供电 | AC 220V |
机台总重 | 约130kg |
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压电晶体器件衬底超精密清洗的研究电子/电气 2020-05-07
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