型号: | PlasmaPro100 ALE |
产地: | 英国 |
品牌: | 牛津仪器 |
评分: |
|
应用领域: |
共1个
查看经典案例
|
我们的设备和工艺已通过充分验证,正常运转时间可达90%以上,一旦设备安装完毕,可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市场应用广,包括但不限于: MEMS和传感器、光电子、分立元器件和纳米技术。它具有足够的灵活性,可用于研究和开发,通过打造质量满足生产需求。
PlasmaPro 100 ALE 的特点:
准确的刻蚀深度控制;
光滑的刻蚀表面
低损伤工艺
数字化/循环式刻蚀工艺——刻蚀相当于ALD
高选择比
能加工最大200mm的晶圆
高深宽比(HAR)刻蚀工艺
非常适于刻蚀纳米级薄层
III-V族材料刻蚀工艺
固体激光器InP刻蚀
VCSEL GaAs/AlGaAs刻蚀
射频器件低损伤GaN刻蚀
硅Bosch和超低温刻蚀工艺
类金刚石(DLC)沉积
二氧化硅和石英刻蚀
用特殊配置的PlasmaPro FA设备进行失效分析的干法刻蚀解剖逆工艺,可处理封装好的芯片, 裸晶片,以及200mm晶圆
高质量PECVD沉积的氮化硅和二氧化硅,用于光子学、电介质层、钝化以及诸多其它用途
用于高亮度LED生产的硬掩模沉积和刻蚀
相关产品
牛津EMCCD探测器iXon Ultra 897
牛津EMCCD探测器iXon 888
日本电子JED能谱元素分析系统 AZtecTEM
透射电镜元素分析系统 牛津仪器能谱仪Xplore TEM
透射电镜元素分析系统 牛津仪器能谱仪UltimMax TLE
透射电镜元素分析系统 牛津仪器能谱仪UltimMax TEM
台式共聚焦显微镜BC43牛津仪器ANDOR
牛津仪器原子力显微镜 Cypher VRS1250
扫描电镜微量元素分析系统 牛津仪器波谱仪AZtecWave
Sona sCMOS 生命科学显微相机平台
用于天文学和物理科学的超灵敏背照式sCMOS相机
波长色散谱仪
电镜专用微区结构分析---牛津仪器全能型 S2 EBSD
牛津仪器Proteox5mK 稀释制冷机
牛津仪器快速扫描电容显微镜(SCM)
关注
拨打电话
留言咨询