资料摘要
资料下载Delivers reactive species to the substrate, with a uniform high conductance path through the chamber, allowing a high gas flow to be used while maintaining low pressure Electrodes available for temperatures from -150ºC to +400ºC with helium backside cooling and a range mechanical clamp designs ? Optimised hardware and control to deliver processes requiring fast process step switching, e.g. Bosch Variable height electrode can utilise the 3-dimensional characteristics of the plasma and accommodate substrates up to 10mm thick at optimum height Range of ICP source diameters; 65mm, 180mm and 300mm
文献贡献者
Unity BEX探测器
简介：近日，牛津仪器发布了Unity探测器，一种扫描电子显微镜下全新的成像技术就此诞生。Unity是同时集成背射电子和X射线（BEX）传感器的商用成像系统。Unity的全新设计实现了背散射图像与元素面分布图的同步高效采集，为样品导航提供了高分辨率全彩成像技术解决方案。
iXon-EMCCD-Brochure-样本
简介：iXon Ultra平台采用广受欢迎的背照式512 x 512帧转式芯片，超频读出至17 MHz，将速度性能提升至出色的56 fps（全画幅），同时保持单光子灵敏度和定量稳定性。
牛津仪器Ultim Extreme_样本
简介：Ultim® Extreme SEM中EDS分析高空间分辨率和低能端性能。将Extreme电子电路、无窗设计与几何结构和传感器的优化设计相结合，灵敏度比传统大面积SDD高15倍。
牛津仪器AZtecTEM_ Ultim Max_样本
简介：Ultim® Max Ultim Max是新一代硅漂移型探测器（SDD)，配有大面积晶体和低噪音电子元器件，分析速度和探测灵敏性都有大幅提升。
牛津仪器Xplore样本
简介：用于SEM中常规分析的Xplore能谱探测器 Xplore能谱探测器的推出完善了牛津仪器能谱产品系列，使得广大用户可以使用AZtecLive实时元素分布功能。
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