四氟化硅传感器

四氟化硅传感器

参考价：面议
型号： *-
产地： 湖北
品牌： 四方光电
评分：
核心参数
四方光电（武汉）仪器有限公司
白金会员 丨 21年 丨 生产商
关注展位 全部仪器
展位推荐 更多
产品详情

红外气体传感器SiF4.jpg

四氟化硅传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR)，能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体，兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，适合半导体行业化学沉积设备、原子层沉积设备腔室的清洁终点监测。

四氟化硅传感器产品特性

使用NDIR技术，多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

响应时间快，高灵敏度

无耗材

模拟/数字通信

模块化设计，便于集成


四氟化硅传感器技术参数

检测原理NDIR
检测气体SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重复性±0.5%
线性±1%F.S.
检测限1ppm





四氟化硅传感器信息由四方光电（武汉）仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于四氟化硅传感器报价、型号、参数等信息， 欢迎来电或留言咨询。除供应四氟化硅传感器外，四方光电（武汉）仪器有限公司还可为您提供其他等产品， 公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。
售后服务
  • 产品货期： 15天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训

相关产品

当前位置： 仪器信息网 四方仪器 仪器 四氟化硅传感器

关注

拨打电话

留言咨询