马尔文帕纳科Wafer XRD_价格

Wafer XRD

报价：面议

型号：

Wafer XRD

产地：

荷兰

品牌：

马尔文帕纳科

评分：

产品详情

简介

Wafer XRD是一款全自动晶圆拣选和生产系统，兼容3到8寸晶圆，支持跨槽晶圆识别与多种定制化选项。具备高速测量能力（＜10秒/样品），并提供高精度倾斜度测量（如Si 100＜0.003°）。该设备配备有铜靶微焦点风冷X射线光管或细焦点水冷X射线光管，适用于多种半导体材料分析，并且完全符合CE安全标准。此外，它还支持电阻率测量、晶圆数据自动识别等功能，便于集成到现有生产线中。

Wafer XRD用于全自动晶圆拣选、生产和质量控制

特点

适用于3到8寸晶圆。也可根据要求提供其他尺寸
FOUP、载具或单个晶圆台
跨槽晶圆识别为可选功能
易于集成到任何工艺生产线中
测量速度：每个样品＜10秒
典型标准偏差（倾斜度）：例如Si 100＜0.003°
MES和SECS/GEM接口
铜靶微焦点风冷X射线光管（**30W）或细焦点水冷X射线光管（**1.5kW）
完全符合CE标准的安全控制装置
通过3色灯塔指示状

材料

Si、SiC、GaAs、GaN、蓝宝石（Al₂O₃）、Ge、AIN、石英、InP和100s等。

可选插件

电阻率测量范围：0.01至0.020Ωcm
自动识别晶圆数据矩阵码、二维码、条形码或类似代码
未抛光晶圆和镜面的距离测量

年产1,000,000片晶圆

Wafer XRD信息由马尔文帕纳科为您提供，如您想了解更多关于Wafer XRD报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。除供应Wafer XRD外，马尔文帕纳科还可为您提供其他等产品，公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。