型号: | SD-981M |
产地: | 北京 |
品牌: | 博远微纳 |
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SD-891M是北京博远微纳科技有限公司(博远微朗)自主研发的一款高性能离子溅射仪。上市已来深受各大高校和科研院所的喜爱。
于传统溅射仪相比,除兼备其他溅射仪功能外,还有有以优点:
1、SD-891M是一款磁控溅射仪,可对温度敏感的样品进行镀膜,比如:薄膜、橡胶等。并且磁控溅射靶头部分的结构更加科学,稳定。
2、操作模式方面:有自动和手动两种模式(满足更多人的镀膜需求)
3、溅射方面:分为正常启动和柔和启动,可适应一些特殊样品
4、真空方面:真空可调节,真空实现自动通气并稳压力的功能,即避免了手动调节真空的不便,同时避免了固定真空度颗粒度大等方面的缺点。
5、操作界面方面:分为简易界面和多样化界面。可满足大多数人使用。
6、样品台方面:可旋转(选配)
具体参数如下:
参数:
² 主机规格:长510mm×宽310mm×高290mm(含腔体)
² 靶材:Au(标配)50mm×0.1mm(D×H)
² 样品室:玻璃腔体直径180mm×高120mm(D×H)
² 样品台直径:φ70mm
² 靶材尺寸:Ф50mm
² 最高真空度:1Pa
² 工作真空:2-15Pa
² 定时器:数码计时 0-600S
² 镀膜面积:50mm
² 溅射电流:0-50mA(可调)
² 真空测量:皮拉尼真空计
² 触摸屏:4寸
² 程序:VPI人机界面
² 可通入气体:多种
² 机械泵:VRD-8
² 速率:0--60nm/min
² 主机功率:100W
² 工作电压:220V,50HZ
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