DLC/PVD/CVD等硬质涂层的硬度等机械性能测试

2017/05/10   下载量: 12

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参考标准 EN 61010,ISO 14577,GBT21838,ASTM E 2546

特殊的涂层工艺,如 DLC(类金刚石碳膜)PVD (物理气相沉积) 或 CVD (化学气相沉积) 对测量技术提出了挑战。极薄的涂层对测量提出了更高的要求,使得传统的显微硬度计无法对如此薄的涂层/薄膜的机械性能做出正确的测量。 菲希尔(FISCHER)采用仪器化压入测试方法的自动化纳米压痕仪,可以对该类涂层的性能做出快速、准确的测量,十分适用于研发、质量控制、来料检验和过程控制等领域。

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工业中各种硬质涂层的产品:

对面表强度有很高要求的刀具涂层:


特殊的涂层工艺,如 DLC(类金刚石碳膜)PVD (物理气相沉积) 或 CVD (化学气相沉积) 对测量技术提出了挑战。极薄的涂层对测量提出了更高的要求,使得传统的显微硬度计无法对如此薄的涂层/薄膜的机械性能做出正确的测量。


菲希尔(FISCHER)采用仪器化压入测试方法的自动化纳米压痕仪,可以对该类涂层的性能做出快速、准确的测量,十分适用于研发、质量控制、来料检验和过程控制等领域。


例如,下图中展示了3μm厚的DLC涂层使用HM2000测量的结果:HM(马氏硬度)衡量的涂层的塑性变形和弹性变形,EIT的测量结果同样也能描述涂层的弹性变形性能,HIT(压痕硬度)和HV(维氏硬度)描述了涂层的塑性变形性能。


如果您的公司或行业需要快速、精确地测量DLD/PVD/CVD这类硬质涂层的硬度、模量等机械性能,那么菲希尔的HM2000无疑是您最好的选择!

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