半球椭圆偏光膜厚测试仪（自动）//_价格_瞬渺科技（香港）有限公司

产品详情

产品特点：

? 椭圆偏振术测量紫外光到可见光波长椭圆参数。

? 0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度测量。

? 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速测量椭圆偏光光谱。

? 可自由变换反射测量角度，得到更详细的薄膜解析数据。

? 非线性最小平方法解析多层膜、光学常数。

产品规格：

膜厚测量范围	0.1nm~
波长测量范围	250~800nm（可选择350～1000nm）
感光元件	光电二极管阵列512ch（电子制冷）
入射/反射角度范围	45～90o
电源规格	AC1500VA（全自动型)
尺寸	1300（H）×900（D）×1750（W）mm
重量	约350kg（全自动型）

应用范围：

■半导体晶圆
?电晶体闸极(Gate)氧化薄膜、氮化膜，电极材料等
?SiO 2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al 2 O 2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
?光阻剂光学常数(波长色散)
■化合物半导体
?AlxGa (1-x) As多层膜、非结晶矽
■平面显示器
?配向膜
?电浆显示器用ITO、MgO等
■新材料
?类钻碳薄膜(DLC膜)、超传导性薄膜、磁头薄膜
■光学薄膜
?TiO 2、SiO 2、多层膜、抗反射膜、反射膜
■平版印刷领域
?g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评价

应用范例：

非线性最小平方法比对NIST标准样品(SiO 2)膜厚精度确认

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型号：	//
产地：	日本
品牌：	半球
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