嵌入式膜厚测试仪

嵌入式膜厚测试仪

参考价:面议
型号: 01
产地: 日本
品牌: 半球
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瞬渺科技(香港)有限公司
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产品详情

产品特点:                                                           

自由搭配的光纤架构,可安装于生产线上、半导体晶圆研磨设备或真空镀膜设备中。

远端同步控制、高速多点同步测量等。

丰富多样的光学系统套件与应用软件,提供特殊环境下最理想的膜厚解决方案。


产品架构:                                                            

半导体晶圆面内分布测量 

玻璃基板面内分布测量


即时性量测

输送方向的定点品质管理

对应真空环境之设备

即时性测量

输送方向的全面品质管理


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