| 型号： | FT/IR-4000、6000系列 |
| 产地： | 日本 |
| 品牌： | 日本分光JASCO |
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晶圆中作为杂质所含的氧、碳和氮对晶圆的性能有很大影响。 傅里叶变换红外光谱仪晶圆反射率测量系统是一种可以通过在 FT/IR 样品室中安装专用载物台来对高达 12 英寸的晶圆进行透射和反射测量，整个测试过程采用专用软件进行分析处理，操作方便快捷。
• 无损和非接触分析
使用红外光可以以非破坏性和非接触式方式评估样品。
• 高精度和可重复性
通过充分利用高性能FT/IR功搭配晶圆测试附件可以进行高精度和高重现性的测量。
• 兼容各种执行标准
与JEITA和JEIDA等各种标准兼容
• 软件分析测量特点
硅分析浓度定量程序，量化硅中所含的氢和氧的浓度
晶圆反射测量通过软件设置进行分析测量
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