型号: | 反射型/透射型 |
产地: | 日本 |
品牌: | 写真化学 |
评分: |
|
写真化学膜厚测量装置
标准型号可测量膜厚对象:
抗蚀剂厚度
多孔膜
ITO
多晶硅
电池电极
玻璃粘合晶片
端点检测
贴合晶片等
自动映射膜厚仪
可测量膜厚对象:
抗蚀剂厚度
贴合晶片
多孔膜
ITO
多晶硅
电池电极
玻璃粘合晶片
带图案晶片等
分为:标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪
通用型膜厚监视器(标准型号)
● 可用作端点监视器
● 也可以对应粘接剂层、玻璃层等通常较难测量的材料
通用型膜厚监视器(红外透射式型号)
● 对应反射弱的薄膜材料
● 可对应卷对卷测量
自动映射膜厚仪
● 除了高速自动映射、等高线、3D图显示之外,还自动解析直方图等统计信息
● 标准对应φ100~300mm的圆形晶圆,也可对应方形被测物等特殊形状,可选配定制载物台板
● 可对应选配项目中的自动校准
成像膜厚仪
● 微细二维膜厚分布原位的可视化
● 通过在GUI上区域,计算微小区域的膜厚
相关产品
银宗透过率均匀度测试机YT-669
Thwing-Albert测厚仪
村上色彩透过率测试仪DOT-41
村上色彩积分球式分光透过率测定器DOT-7
村上色彩分光透过率测定器DOT-3C
Thwing-Albert 90°剥离测试仪
Thwing-Albert 180°剥离测试仪
Thwing-Albert拉伸试验机Vantage系列
Thwing-Albert QC-3A电子材料试验机
Thwing-Albert摩擦测试仪FP-2260
Thwing-Albert摩擦测试仪FP-260
TOPCON拓普康分光辐射计SR-5100
HORIBA堀场PH计HP-480
HORIBA堀场ORP计HO-200
HORIBA堀场PH分析仪pH-300
关注
拨打电话
留言咨询