型号: | SC-701MKll |
产地: | 日本 |
品牌: | |
评分: |
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一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于电极镀膜,也可用于扫描电镜成像中非导电样品镀膜。
技术参数
SC-701MKll 离子溅射仪 | |
样品室 | 直径90x 90mm 高,SUS材质 |
靶材 | 标配Au,Pt/Pt-Pd/Au-Pd/Pd/Ag可选,φ49mm |
样品台 | 直径:50mm |
溅射方式 | DC溅射 |
溅射时间 | 0~15分钟,最长30分钟(在连续模式下) |
溅射真空 | 5~30Pa |
高压/电流 | 1.2kV/9.9mA |
进气控制 | 针阀控制 |
抽气速率 | 20L/MIN |
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