平顶光束整形器在半导体工业行业的应用

2020/04/02   下载量： 0 次

方案摘要

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应用领域 电子/电气
检测样本 电子元器件产品
检测项目
参考标准 平顶光束整形器

衍射光学元件（DOE）在半导体工业的多种应用中广泛使用，主要工作在紫外和可见波段。高质量的UV熔石英DOE在直写刻蚀、晶圆检测中表现出优秀的性能稳定性。在这类应用中，DOE的角度精确度、热稳定性和高损伤阈值尤为重要。

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方案详情

在ITR2的驱动下，半导体工业向进一步的小型化发展，对晶圆的小尺度结构的深紫外（DUV）光学检测的需求持续增加。此类系统需要采用匀化器（针对低相干激光）或光束整形器（针对单模高相干激光）将光强分布整形。同时，通常采用大角度（>70度）略入射辐照，要求高度细致地设计的整形光学系统，确保Waver表面的照明均匀性。
针对此类应用，提供专门的晶圆检测用DOE，包括订制的光束整形器以及在高略入射角度时保证均匀照明的光学系统。


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文献贡献者

先锋科技（香港）股份有限公司
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