型号: | SE-101/102 |
产地: | 日本 |
品牌: | |
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北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型椭偏仪。这种光子晶体探测器型的椭偏仪是有日本Photonic Lattice公司首创,并应用到椭偏仪的测试中。日本Photonic Lattice公司在光子晶体的研究和制造领域领先世界,由此开发出的光子晶体探测器型椭偏仪具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该椭偏仪可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。
相比传统的光谱型椭偏仪,光子晶体探测器型椭偏仪避免了探测器的机械运动。使得测试速度更快、测试更加准确、成本更加低廉。
SE-101,SE-102型都是经济小巧的桌面式椭偏仪,SE-101主要用于薄膜的单点测量,SE-102则可进行点、线和面的测量。该系列设备使用简单,免维护,价格低廉,特别适合于实验室和工艺线的在线膜厚检测。
技术规格:
型号 | SE-101 | SE-102 |
重复性精度 | 0.1nm(厚度),0.001(折射率) | |
测量速度 | 0.05秒/点 | |
光源 | 636nm半导体激光器 | |
测量点尺寸 | 1mm2 | 点线测量:0.5mm2 面测量:0.1mm2 |
入射角 | 70度 | |
样品尺寸 | 4英寸 | 4英寸,1轴自动,2轴手动 |
仪器尺寸和重量 | 250x175x218.3mm/4Kg | 300x235x218.3mm/9Kg |
数据接口 | RS-232C,千兆以太网 | |
电源 | AC100-240V(50/60Hz) | |
软件 | SE-View |
详细信息请咨询我们。
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