方案摘要
方案下载应用领域 | 电子/电气 |
检测样本 | 其他 |
检测项目 | 化学性质>元素分析 |
参考标准 | / |
PEALD制程中超威量水的残留量对薄膜特性极为重要。它影响薄膜结构、质量、化学反应速率和最终性能。调整水的残留量通常使用气体流量、温度和压力等参数,但超威量水分难以检测(ppb~ppt)。因此,TDS热脱附分析方法对于检测H2O水份至关重要,提供ppb~ppt级别的检测极限,帮助制程工程师实现薄膜控制和质量要求。
薄膜结构
水分子的残留量可以影响薄膜的结构和成分。如果水的残留量较高,它可能与前驱体气体产生反应,导致薄膜中含有氧或氢等杂质。这可能会改变薄膜的结晶性、密度和化学成分。
薄膜质量
过多的水残留可能会导致薄膜的质量下降。水分子可以引入缺陷或不均匀性,这可能会影响薄膜的性能,特别是在微电子和光学应用中。
化学反应速率
水的存在可以影响反应速率。在某些情况下,水可能会促使前驱体气体更快地分解或反应,这可能会影响制程的控制性。在PEALD中,精确的反应速率控制非常重要,以实现均匀的原子层沉积。
薄膜的性能
水的残留量也可以影响薄膜的最终性能。一些应用可能需要极低的水含量,以确保薄膜具有所需的电子、光学或机械性能。
▲以TDS分析PEALD制备之二氧化硅薄膜所含水气含量 | ▲红外线加热式热脱附质谱仪 TDS1200Ⅱ |
PEALD制程中水的残留量是一个需要仔细控制的关键参数,这需要制程工程师考虑到所需的薄膜特性以及前驱体的选择。透过热脱附质谱仪TDS分析水的残留量多寡,侦测极限达到ppb~ppt level,是量测超威量水分的最佳工具,提供制程工程师进行细致调整的重要信息,以满足制程的要求。
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