晶圓倉儲與包裝自動化

晶圓倉儲與包裝自動化

参考价：面议
型号： Kainova Tech - 晶圓倉儲與包裝自動化
产地： 台湾
品牌： KAINOVA
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香港电子器材有限公司
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产品详情

晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备 (KAS-381)

性能规格 最大储量：87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆) 处理速度：180 WPH以上 ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)

设备特色

  • ．市场唯一N2环境晶圆堆叠盒仓储与晶圆分拣整合设备

  • ．全自动拆包晶圆堆叠盒，双线拆包，换盒无需等待

  • ．对应所有晶圆堆叠盒 ，并可自动开上盖

  • ．依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置

  • ．对应12吋晶圆

 

性能规格

  • ．最大储量：87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆)

  • ．处理速度：180 WPH以上

  • ．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)

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  • 晶圆堆叠盒仓储拆包及分拣设备 (KAS-382)

  • 性能规格

    • ．最大储量：8个独立N2晶圆堆叠盒储位

    • ．处理速度：180 WPH以上

    • ．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)

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  • 晶圆堆叠盒包装拆包及分拣设备 (KAP-541)

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    设备特色

    ．市场唯一晶圆堆叠盒包装、拆包及晶圆分拣整合设备

    ．全自动包装与拆包晶圆堆叠盒，双线包装及拆包，换盒无需等待

    ．对应所有晶圆堆叠盒 ，并可自动开阖上盖

    ．依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置

    ．兼容8吋、12吋、薄化晶圆

     

    性能规格

    ．处理速度：180 WPH以上

    ．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)

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