半球膜厚测量仪-_价格_上海瞬渺光电技术有限公司

产品详情

产品特点：

? 薄膜到厚膜的测量范围、UV～NIR光谱分析。

? 高性能的低价光学薄膜测量仪。

? 藉由绝对反射率光谱分析膜厚。

? 完整继承FE-3000高端机种90%的强大功能。

? 无复杂设定，操作简单，短时间内即可上手。

? 非线性最小平方法解析光学常数(n:折射率、k:消光系数)。

产品规格：

应用范围：

? 半导体晶圆膜(光阻、SOI、SiO2等)

? 光学薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)

应用范例：

? PET基板上的DLC膜

? Si基板上的SiNx

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