裕隆时代LJ-18M磁控离子溅射仪_价格_沃根瑞特科技（北京）有限公司

产品详情

LJ-18M磁控离子溅射仪是由裕隆时代精心设计制造的新一代磁控镀膜系统。

● 配置高质量真空系统和微调阀，结合自动控制电路，预置工作真空和电流，无需反复调节，

● 操作极为简洁。可自选所需电离气体（氩气，空气），以获得最佳镀膜效果。

● 棱角成型工艺制成高强度真空玻璃罩，防止轻易磕碰损伤及边缘“崩边”。

● 标配Ф57mm X 0.12mm大尺寸铂靶，溅射范围更大，靶材使用时间更长。

● 高级铝制机箱，机身小巧，坚实美观。模块化设计，便于安装及检修。

标准配置

型号

技术参数

LJ-18M

1.1溅射靶头：平面磁控靶头

1.2溅射电流：0-100mA

1.3玻璃处理室： Ф 125mm x 130mm

1.4试样台尺寸： Ф 40mm，可同时放6个样品台

1.5靶材尺寸： Ф57mm X 0.12mm

1.6真空系统：直联旋片真空泵，2L/S

1.7真空保护： 20Pa，配有微量气体调节阀控制工作真空

1.8工作电源： 220 VAC 50Hz

1.9定时开关：控制溅射时间，范围10～110S。

1.9可用靶材：铂靶（标准配置），金靶，铜靶，银靶等

1.10工作气体：空气或氩气

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20000倍塑料薄膜样品

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