Polytec 显微式激光测振仪

参考价：¥100万 - 200万

核心参数

Polytec 面内激光测振仪

Polytec 扫描式激光测振仪

Polytec 高性能单点式激光测振仪

产品详情

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MSA-600显微式激光测振仪

产品特点：

• 集多功能于一体的光学测量工作站
• 真正的实时测量，无需数据后处理
• 无与伦比的亚pm位移分辨率
• 测量速度快，振型可视化显示
• 操作界面直观友好
• 全自动化测量，易于集成至商用探针台上

技术参数：

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应用领域：

• 微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动
如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等

• 微型结构的面内振动

如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动

• 微型结构的表面形貌

如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌

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