晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6
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晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6

参考价:¥30万 - 50万
型号: RTP-Table-6
产地: 广东
品牌: 晟鼎
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核心参数
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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产品详情

晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6,使用上下两层红外卤素灯管作为热源加热内部石英腔体保温隔热,腔体外壳为水冷铝合金,使得制品加热均匀,且表面温度低。RTP-Table-6采用PID控制,系统能快速调节红外卤素灯管的输出功率,控温更加精准。



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典型用户
用户单位 采购时间
清华大学 2023/12/22

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