型号: | RTP-Table-6 |
产地: | 广东 |
品牌: | 晟鼎 |
评分: |
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晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6,使用上下两层红外卤素灯管作为热源加热内部石英腔体保温隔热,腔体外壳为水冷铝合金,使得制品加热均匀,且表面温度低。RTP-Table-6采用PID控制,系统能快速调节红外卤素灯管的输出功率,控温更加精准。
用户单位 | 采购时间 |
清华大学 | 2023/12/22 |
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