| 型号： | RTP-3 |
| 产地： | 湖北 |
| 品牌： | 嘉仪通 |
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快速退火炉(RTP,Rapid ThermalProcessing)系列产品,采用红外辐射加热及冷壁技术，可实现对实验材料的快速升温和降温，同时搭配超高精度的温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理、快速退火、快速热氧化、快速热氮化及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。
快速退火炉系列产品主要分为RTP-3-01、RTP-3-04、RTP-3-06、RTP-3-08、RTP-3-12等,分别能处理 1-12 吋样本。
应用功能
快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)
-离子注入/接触退火
-SiAu、SiAl、SiMo合金化
-太阳能电池片键合
-电阻烧结
-低介电材料热处理
-晶体化、致密化
-材料制备
提供可控压力环境并实现以上应用
提供Vac、lG、02、Gas mixture等气氛环境
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