谱育科技SUPEC 2050 半导体AMC综合监测系统_价格

SUPEC 2050 半导体AMC综合监测系统

参考价：¥1

型号：

SUPEC 2050

产地：

浙江

品牌：

谱育科技

评分：

产品详情

产品概述SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理子系统、气体监测子系统以及辅助设备和数据采集与处理子系统等构成：

采样预处理子系统：由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪组成，可以对多个点位进行不间断实时采样，并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。

气体监测子系统：由多个分析仪组成，可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配，实现不同物质的在线监测。

辅助系统：由集成机柜和校准单元组成，可以保证整套系统的正常运行，校准单元可以定期对系统进行校准，保证监测数据的稳定和准确。

数据采集与处理子系统：可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息，并将监测数据传输至企业的中控平台。

性能优势

采样覆盖面广

多点位同时采样，覆盖面广，成本低，可支持200m点位监测，多点位形成网格化分析体系。

轮巡速度快

系统具备预抽功能，节约管路传输等待时间。

自由配置通道数量

系统可扩展，可自由配置采样点位数量。

样品间干扰小

具备反吹功能.确保各路样品互不影响，低残留。

样品超标留样

可搭配超标留样，系统可搭配苏玛罐留样系统，当点位污染超标时自动留样。

应用领域

半导体行业检测

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